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明睿陶瓷專業生產用於半導體設備上使用的陶瓷配件,例如陶瓷手臂,模組等。主要材料包括95-99.9%氧化鋁,氧化鋯,以及氮化矽,碳化矽陶瓷。基本尺寸精度可控制在0.005mm左右。
主要特點:
・緻密質,高硬度,高耐磨性
・優良的機械強度
・高溫環境仍具有良好的絕緣性
・良好的抗腐蝕性
應用領域:
・耐磨耗襯板材料,
・半導體生產製造用備件,粉碎媒介
・耐熱部件
・化學實驗用各種備品
・化學品過濾器
・各種粉碎設備
・其它相關的半導體電子生產用備品備件
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